Китайские ученые значительно ускорили создание фотонных чипов с помощью ионно-лучевой литографии
Китайские исследователи разработали метод, который в сто раз увеличивает скорость производства фотонных чипов с использованием ионно-лучевой литографии. Новая технология позволяет сократить время обработки кремниевых пластин до десятков секунд.