Huawei разрабатывает литографическое оборудование в Китае, SMIC тестирует новые технологии
Huawei и китайские компании работают над созданием литографического оборудования DUV, что связано с американскими санкциями. SMIC уже проводит испытания новых систем, разработанных в Китае.
Компания Huawei Technologies, ставшая первой жертвой американских санкций в 2019 году, активно участвует в процессе импортозамещения в Китае. В настоящее время Huawei и ее партнеры сосредоточены на разработке литографического оборудования, необходимого для производства более сложных чипов в стране.
Хотя оборудование с глубоким ультрафиолетовым излучением (DUV) не является самым современным в мире полупроводников, экспортные ограничения на некоторые модели от нидерландской компании ASML побуждают китайских производителей искать альтернативы. В Шанхае была создана компания Yuliangsheng, которая в сотрудничестве со стартапом SiCarrier разрабатывает литографическую систему DUV. Несмотря на то, что Huawei отрицает связь с SiCarrier, Yuliangsheng уже тестирует свои прототипы как в Huawei, так и в компании SMIC.
Сложность в производстве DUV-сканеров в Китае заключается в нехватке местных оптических систем и лазерных источников нужного качества. Huawei активно поддерживает разработчиков в этих областях, выступая в роли координатора на национальном уровне. В этом году Yuliangsheng планирует выпустить 12 литографических сканеров DUV.
Смарт-контрактный производитель чипов SMIC уже начал тестирование системы DUV, предназначенной для производства 28-нм чипов, и пытается адаптировать ее для более современных 7-нм чипов. Прототипы, разрабатываемые Yuliangsheng с поддержкой китайской компании SMEE, используют как импортные, так и китайские компоненты. Хотя доступ к высококачественным оптическим системам ограничен, некоторые материалы можно найти на вторичном рынке в Китае.
Huawei также инвестирует в компанию RSLaser Opto-Electronics, занимающуюся разработкой источников лазерного излучения для литографических систем. Однако, по мнению экспертов, китайские производители по-прежнему зависят от оборудования ASML, которое было закуплено до введения ограничений. Санкции США ускоряют процесс разработки местных альтернатив, однако китайские аналоги, по оценкам, отстают от западных на 15 лет.
По материалам: 3dnews.ru
